工業廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物洗滌、生物滴濾法、等離子法等多種原理。因此針對相應的工業廢氣，能夠更好更高效的對污染物進行去除，使其工作區域相互融合，形成場強加強區，放大了各自的降解效率。使污染物降解完全，這兩種方法的協同運作，廢氣處理塔采用五重廢氣吸附過濾凈化系統。工業廢氣處理設計周密效果較好、層層凈化過濾廢氣。

工業廢氣處理的種類頗多，以低溫等離子技術與UV光解凈化的組合為例，采用科創技術，進行技術的的組合與拆分，增強了電子的二次激發，例如低溫等離子技術與UV光解凈化的組合、轉輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術的組合。